日本日立熱場發射掃描電鏡SU7000概述

此次推出的SU7000采用全新設計的探測器，使得對二次電子信號、背散射電子信號的檢測以及分離能力大大提升。以前我們要根據不同的觀察信號來調整樣品與透鏡之間的距離(工作距離/以下簡稱WD)，以獲得最佳的觀察與分析條件，而SU7000通過新研發的樣品倉以及檢測器系統，可在同樣的WD的條件下更高效地接收各種信號，縮短了樣品觀察和分析的時間，提高了測試效率。　而且，SU7000還配置了可同時6通道顯示界面(前代機型只能同時顯示4通道)，進一步升級電鏡控制系統，大幅提高了信號獲取速度，由此實現了樣品的高效率觀察。它還標配超大樣品倉，增設了附件接口，可適用于各種樣?品的觀察與分析。主要特點：在相同的WD條件下，可同時實現二次電子，背散射電子觀察與X射線能譜分析。可同時實現6通道檢測與顯示;成像分辨率最大可達10240×7680像素;配置18個附件接口，支持低至300Pa的低真空模式觀察;(選配)

日本日立熱場發射掃描電鏡SU7000特點

★ 采用優異的成像技術

SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結構等多種檢測信號。全新設計的電子光學系統和檢測系統，使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號，用戶可以在短時間內獲得更全面的樣品信息。

★ 采用多通道成像技術

隨著用戶對成像需求的不斷增長，SU7000特新增了幾種探測器，還引進了相應的成像功能。SU7000最多可同時顯示和保存6通道信號。實現了獲得樣品信息的樶大化。

★ 支持不同形狀樣品、多種觀察方法

?大型樣品觀察

?低真空觀察

?超低溫觀察

?實時觀察

等所需的樣品倉和真空系統都十分完備，觀察方法也是一ying俱全。

★ 支持微納解析

采用肖特基發射電子槍，最大束流可達到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等，接口設備可通過選配附件滿足各種特殊需求。

成像能力

追求信息樶大化的檢測系統

隨著用戶對樣品數據的需求更加多元化，對檢測系統在短時間內捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統可以在不改變WD等條件的前提下，更高效地獲取形貌、成分、晶體學以及發光等信息。真正實現了更快速、更全面的信息收集。

同一條件觀察

樣品：包裹有機物的金屬棒

樣品提供：Vassar College, Chemistry Dept.

Mr. Smart and Ms. Pineda

通過UD、MD、LD探測器同時采集信號的應用實例 (加速電壓：1 kV)

通過UD、MD、LD探測器可以同時采集信號，UD可獲取表面微細形狀信息，MD可獲取表面有機物包覆狀態信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個條件下，實現了獲取信息的樶大化。

采用可多通道顯示的GUI設計

優化信號顯示功能

成像單元在信號顯示上也作了全新升級。

用戶可根據觀察需求，選擇不同的視場角和通道數。

單屏最多可同時顯示4通道信號。

導航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內信息的CCD相機圖像和相機拍攝到的樣品圖像，快速顯示目標圖像。

使用雙屏顯示時，可在一個顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像，另一個顯示屏專門用來顯示信號，最多可同時顯示6通道信號。

高自由度的界面布局

使用單屏時，可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息，也可以顯示CCD相機圖像、樣品臺圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動、添加和刪除。

支持雙屏顯示

1st顯示屏專門用來顯示圖像，2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖(1st顯示屏)是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖(2nd顯示屏)將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個畫面中顯示，界面布局清晰明了。在實現實時監控圖像的同時，操作性能也得到了進一步提升。

可擴展觀察和分析方法

樣品倉和馬達臺

樣品倉外觀

標配18個附件接口

馬達臺外觀

XY軸可移動距離為135×100 mm

樣品倉可搭載最大直徑為φ 200 mm;最高80 mm的樣品。大開倉設計，標配18個附件接口。樣品臺可搭載XY軸最大移動距離為135×100 mm，最重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺*不成問題。

相機導航功能(*)

 通過相機拍攝樣品 將相機拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫面上進行導航

SU7000可選配導航相機(*)，迅速鎖定要觀察的位置。相機安裝在樣品倉內，插入樣品后，可半自動拍攝樣品的整體圖像。該圖像會被顯示到導航畫面(SEM MAP)窗口，因此，用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。最大適用尺寸為φ 100 mm。

(*)

可選配相機。

支持動態觀察的檢測系統

SU7000可用于環境改變的動態觀察。低真空觀察時，可以選用PD-BSED(背散射電子探測器)、UVD、MD等各種探測器(**)。

低真空環境的探測器選擇

左圖為通過MD(背散射電子)，右圖為通過UVD(二次電子)探測器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現出氧化物的分散狀態和纖維的堆積情況。

PD-BSED：響應速度提高左圖是以一般的響應速度，約每兩秒掃描一次得到的圖像;右圖抑制了圖像的漂移，使得整體的畫質得到了大幅提升。隨著響應速度的提高，更適用于In-Situ觀察。

(**)

可選配PD-BSED、UVD。